磁場、振動與電鏡實驗室系列
氣動式主動除振系統
諾司實業與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)協力合作，提供半導體&光罩產業之微振動控制及電磁波控制更優質服務。
現今，機械工業與半導體產業對於振動的防制愈來愈佔有重要的地位。來自環境的振動均對生產機台造成很大的影響，特別在半導體產業，如E-beam Lithography，Electron Microscope等機台，電子束對於振動及外界電磁波之干擾特別敏感，因此有效地控制及防護便是必須的。
由日本團隊
客製化設計
客製化設計
高精度檢測設備
的最佳夥伴
的最佳夥伴
日本第一的
振動控制技術
振動控制技術
卓越的除振性能
攻克棘手的
低頻振動
低頻振動
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氣動式主動除振系統
隨著製程的推進，微振動控制的需求也日益漸增。雖然就整體工程而言所佔的費用比例甚少，但卻對電子束機台或檢測設備方面能否順利運作，有著重大的影響力。
諾司於過去承攬工程案件中，屢次收到客戶提出振動控制相關的問題，故與日本特許機器株式會社 (Tokkyokiki Corproration) 協力合作，可提供客戶進行微振動量測、模擬分析及專業建議諮詢，並提供主動式除振台及相關解決方案，以改善微振動問題。
(圖片出處：特許機器株式會社)
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