磁場、振動與電鏡實驗室系列
主動式磁場消除系統
諾司實業與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)協力合作，提供半導體&光罩產業之微振動控制及電磁波控制更優質服務。
面對先進半導體與光罩製造中，電子顯微鏡（SEM、TEM）、電子束檢測及光罩製版等設備對環境的極高要求，任何微小的振動與磁場波動，都可能造成解析度下降、圖形失真或測量誤差。諾司實業與日本特許機器株式會社（Tokkyokiki Corporation）攜手合作，引進他們領先業界的微振動控制與電磁波（活性磁場）抑制技術，致力於為客戶提供更高穩定性、更高精度的整體解決方案。
由日本團隊
客製化設計
客製化設計
高精度檢測設備
的最佳夥伴
的最佳夥伴
日本第一的
振動控制技術
振動控制技術
卓越的除振性能
攻克棘手的
低頻振動
低頻振動
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主動式磁場消除系統(AMC-332)
保護對磁場變動敏感的設備，避免受到磁場變動的干擾
1. 高靈敏度偵測 + 實時補償：
採用高感度磁場感測器，偵測環境中的磁場變動(如由電源雜訊、機械設備運動、外部建築或交通引起的干擾等)。透過亥姆霍茲線圈產生逆位相磁場，及時抑制磁場波動，維持穩定場域。
採用高感度磁場感測器，偵測環境中的磁場變動(如由電源雜訊、機械設備運動、外部建築或交通引起的干擾等)。透過亥姆霍茲線圈產生逆位相磁場，及時抑制磁場波動，維持穩定場域。
2. 優異的效能與廣域應用：
控制範圍可達±25 µT(視現場空間大小而定)，控制頻率從接近直流到約3.5kHz，減衰率可達約40-60dB，遠優於傳統被動屏蔽方式。
控制範圍可達±25 µT(視現場空間大小而定)，控制頻率從接近直流到約3.5kHz，減衰率可達約40-60dB，遠優於傳統被動屏蔽方式。
3. 簡單施工、節省成本：
只需在目標設備周圍固定線圈布置，即可完成安裝；與被動磁屏蔽相比，成本約為後者的十分之一。對於利用電子束或敏感光罩觀測/曝光設備的半導體工廠與研發單位，是非常划算且高校的提升方案。
特點：
1. 高性能：具有高達40-60dB的磁場衰減效果
2. 低成本：與被動式的磁屏蔽室相比較，成本大幅下降
3. 施工簡單：提供專用的材料裝置與線圈佈置
對應機型：
1. 掃描式電子顯微鏡(SEM)
2. 穿透式電子顯微鏡(TEM)
3. 聚焦離子束設備(FIB)
4. 關鍵尺寸量測設備(CD-SEM)
5. 電子束光刻設備(EBL)
6. 其他精密檢測設備
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