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磁場、振動與電鏡實驗室系列

被動式氣浮除振桌

諾司實業與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)協力合作，提供半導體&光罩產業之微振動控制及電磁波控制更優質服務。

在半導體產業等超精密加工領域，製造、檢測、計量等設備的精密度已深化至奈米(Nanometer)和埃(Angstrom)級別。為了精準捕捉時代需求，我們提供一個超微振動隔離空間的解決方案。

由日本團隊
客製化設計

高精度檢測設備
的最佳夥伴

日本第一的
振動控制技術

卓越的除振性能

攻克棘手的
低頻振動

本系列產品是改善應用於半導體產業的超精密加工領域之製造、檢測、計量等設備振動環境的最佳選擇。

核心特點：SSR新隔振結構與SBM機構

採用最新的SSR新隔振結構(空氣彈簧+Swing ball)，大幅提升了性能。

1. 超低固有振動頻率的實現：

(1) 水平方向SBM結構：在一般的空氣彈簧中加入了水平方向的隔振Swing ball結構(SBM結構)，這是一項專利技術。

(2) 性能提升：透過SBM結構，在維持空氣彈簧原有尺寸的基礎上，實現了超低固有振動頻率。

(3) 低頻隔振：透過利用曲面力矩的恢復利原理，在很小的空間內使振子產生振動，能以數公分高度得到0.5~2Hz的固有振動頻率。

(4) 廣域隔震效果：由於除振台的固有振動頻率很低，共振頻段很小，因此能從低頻到高頻均達到良好的隔振效果。

2. 卓越的振動傳遞特性：

(1) 穩定性：既使固有頻率很低，本產品也能將模態(mode)的發生抑制到100Hz，展現出穩定的振動傳遞特性。

(2) 抑制側向模式：採用SBM機構成功抑制了傳統空氣彈簧難以解決的側向滾動模式(Rolling Mode)。

(3) 水平頻率恆定：無論搭載設備的重量如何，水平方向的固有振動頻率都能保持幾乎恆定。

(4) 優化設計：結合了SBM機構與經過優化設計的架台，確保在廣泛的頻率範圍內可靠除振，最大限度地發揮搭宰設備的性能。

DHS系列是將EHS系列與工作罩結合的型號，讓您在工作時無須擔心接觸浮子。

(圖片出處：特許機器株式會社)

模型	DHS-68	DHS-78	DHS-87	DHS-107
隔振台外型尺寸 (寬 x 深 x 高 mm)	650x850x750	750x850x750	850x750x750	1050x750x750
產品重量 (kgs)	175	195	195	225
承載能力 (kgs)	120
隔振方法	空氣彈簧和擺球支撐系統(PAT.P/USP)
固有頻率 (Hz)	垂直 1.6 ~ 2.2 水平 1.2 ~ 1.8
調頻	採用機械閥的自動調頻系統：供給壓力0.4Mpa
浮動部件材質	SUS304拋光表面
選配	抗震固定支架、下層層架
其他選配	可用於無塵室(具有集中排氣機構和防靜電接地功能) 符合RoHS

支援光學顯微鏡及粗糙度儀器等重負載設備。

(圖片出處：特許機器株式會社)

模型	DAS-68	DAS-78	DAS-87	DAS-107
隔振台外型尺寸 (寬 x 深 x 高 mm)	650x850x750	750x850x750	850x750x750	1050x750x750
產品重量 (kgs)	180	200	200	230
承載能力 (kgs)	200
隔振方法	空氣彈簧
固有頻率 (Hz)	垂直 & 水平 2.0 ~ 3.0
調頻	採用機械閥的自動調頻系統：供給壓力0.4Mpa
浮動部件材質	SUS304拋光表面
選配	抗震固定支架、下層層架
其他選配	可用於無塵室(具有集中排氣機構和防靜電接地功能) 符合RoHS

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