磁屏蔽室
磁屏蔽室
諾司實業與日本Dan-Takuma協力合作，提供半導體&光罩產業之電磁防護工程。
現今，機械工業與半導體產業對於磁場環境要求越來越佔有重要的地位。來自於環境的磁場對於生產機台造成很大的影響，特別在半導體產業，如E-beam Lithopraphy，Electron Microscope等機台，電子束對於低頻振動及外界電磁波之干擾特別敏感，因此有效地控制及防護更是必須的。
我們提供與潔淨室相結合的磁屏蔽環境，超恆溫(±0.01°C)空調和抗化學物質污染能力，且被設計用於電子束描畫設備的磁場環境控制。
我們提供與潔淨室相結合的磁屏蔽環境，超恆溫(±0.01°C)空調和抗化學物質污染能力，且被設計用於電子束描畫設備的磁場環境控制。
產品模組化
可變性及共通性高
可變性及共通性高
日本先進的
磁波控制技術
磁波控制技術
01
04
防磁屏蔽室
(Magnetic Shield Room)
電磁波EMI屏蔽分成主動屏蔽(Active Shielding)及被動屏蔽(Passive Shield)。
主動屏蔽：磁場補償系統。
被動屏蔽：磁場衰減隔離室、磁場隔離箱、電波隔離室、電波暗室、電磁波衰減改善工程等。
一般射頻、平面波、微波等高頻電磁波干擾可經由是當的屏蔽(shielding)、接地(grounding)與濾波(filtering)則可將其干擾衰減降低，低頻可使用主動頻蔽譬如主動式磁場控制系統。
主動式磁場控制系統
(Auto Magnetic Field Canceller)
我們提供與潔淨室相結合的磁屏蔽，高精度空調和抗化學污染能力，並且其被設計用於屏蔽地磁場的波動影響，並適用於電子束設備。
電子束的設備用於半導體的先進製程，在設備設置環境中需有一個要求更高的環境穩定度。特別是穩定的磁場及穩定的環境溫度是必要的。我們提供高精度的穩定環境來自於多年來磁屏蔽技術與潔淨室施工經驗及訣竅。我們也用自己的化學過濾器來維持在一個超低濃度防磁室環境並防止化學污染。
__25E06CVPdf.png)
