防磁屏蔽室

現今，機械工業與半導體產業對於磁場環境要求越來越佔有重要的地位。來自於環境的磁場對於生產機台造成很大的影響，特別在半導體產業，如E-beam Lithopraphy，Electron Microscope等機台，電子束對於低頻振動及外界電磁波之干擾特別敏感，因此有效地控制及防護更是必須的。 我們提供與潔淨室相結合的磁屏蔽環境，超恆溫(±0.01°C)空調和抗化學物質污染能力，且被設計用於電子束描畫設備的磁場環境控制。