磁場、振動與電鏡實驗室系列

諾司實業與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)及DT(Dan-Takuma)協力合作, 提供半導體與光罩產業之微振動控制及電磁波控制更優質服務。
1
由日本團隊
客製化設計
由日本團隊
客製化設計
2
高精度檢測設備
的最佳夥伴
高精度檢測設備
的最佳夥伴
3
日本第一的
振動控制技術
日本第一的
振動控制技術
4
卓越的除振性能
卓越的除振性能
5
攻克棘手的
低頻振動
攻克棘手的
低頻振動

支撐奈米時代精密科技的精密除振系統


現今半導體、液晶等產業正在不斷快速地向細微化、大型化、高速化等方向發展。而在安裝精密機器時,
振動控制技術 (除振技術)與產品質量和生產能力直接相關而被廣泛採用。
對於21世紀初的半導體批量生產體制而言,由於進入了〝奈米 ( 10-9) 技術時代〞,要求更高的振動控制技術水平。
在複雜的振動源及針對精密機器特點而採取的除振對策等諸方面,
具有豐富經驗和突出業績的特許機器能夠就高科技工廠裡所有工序中產生的振動問題,透過以主動式除振技術為核心的先進技術,為您提供最佳解決方案。

產品一覽
氣動式主動除振系統
現今,機械工業與半導體產業對於振動的防制愈來愈佔有重要的地位。來自環境的振動均對生產機台造成很大的影響,特別在半導體產業,如E-beam Lithography,Electron Microscope等機台,電子束對於振動及外界電磁波之干擾特別敏感,因此有效地控制及防護便是必須的。
氣動式主動除振系統
被動式氣浮除振桌
在半導體產業等超精密加工領域,製造、檢測、計量等設備的精密度已深化至奈米(Nanometer)和埃(Angstrom)級別。為了精準捕捉時代需求,我們提供一個超微振動隔離空間的解決方案。
被動式氣浮除振桌

被動式氣浮除振桌

被動式氣浮除振桌
精密除振系統
主動式磁場消除系統
面對先進半導體與光罩製造中,電子顯微鏡(SEM、TEM)、電子束檢測及光罩製版等設備對環境的極高要求,任何微小的振動與磁場波動,都可能造成解析度下降、圖形失真或測量誤差。諾司實業與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)攜手合作,引進他們領先業界的微振動控制與電磁波(活性磁場)抑制技術,致力於為客戶提供更高穩定性、更高精度的整體解決方案。
主動式磁場消除系統
電鏡實驗室
在今日尖端的材料科學、生命科學和半導體研究中,電子顯微鏡(SEM/TEM)是觀察奈米和原子級結構的關鍵利器。然而,這些儀器對環境的敏感度極高,尤其是低頻環境磁場的波動,會嚴重干擾墊子樹的穩定性,導致影像失真、解析度下降,甚至影響實驗結果的可靠性。 諾司深知電鏡實驗室所面臨的嚴苛挑戰,我們的承諾是:提供一個穩定、純淨的微觀探索環境,讓您的電鏡能夠發揮其全部的設計潛能。
電鏡實驗室

電鏡實驗室

電鏡實驗室
電鏡實驗室
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同時提供我們相關環境產品赴國外設置之設計、監造、 施工及相關售後服務
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