磁場、振動與電鏡實驗室系列
客製化設計
的最佳夥伴
振動控制技術
低頻振動

支撐奈米時代精密科技的精密除振系統
現今半導體、液晶等產業正在不斷快速地向細微化、大型化、高速化等方向發展。而在安裝精密機器時,
振動控制技術 (除振技術)與產品質量和生產能力直接相關而被廣泛採用。
對於21世紀初的半導體批量生產體制而言,由於進入了〝奈米 ( 10-9) 技術時代〞,要求更高的振動控制技術水平。
在複雜的振動源及針對精密機器特點而採取的除振對策等諸方面,
具有豐富經驗和突出業績的特許機器能夠就高科技工廠裡所有工序中產生的振動問題,透過以主動式除振技術為核心的先進技術,為您提供最佳解決方案。